多晶硅制作工安全操作规程

篇2：单晶硅拉制工安全操作规程

1.检查好晶轴、坩祸轴的旋转、升降是否灵活均匀。如果过紧时调节炉膛上的密封圈,紧固到不漏气为准。若拧时不漏气但旋转升降不灵活均匀,则要更换密封圈。

2.真空泵运转的方向应按规定的方向旋转,否则可能引起机械泵油倒灌到扩散泵中去。若真空泵电动机电源线有松掉或断落现象时,应将真空泵和扩散泵连接的塑料管拉掉,调整电动机旋转方向。

3.使用扩散泵必须避免油的氧化。

4.封炉时须检查炉门橡皮是否有油污物,是否能起密封作用,同时检查炉膛内有没有多余物件。

5.增温前要开冷却水,并检查水是否畅流,以防烧坏设备。

6.运动部件如导轨、丝杠等经常要擦洗、润滑。籽晶轴和坩锅要经常用纱布酒精或甲苯擦干净。采用水冷却要防止漏水生锈。

7.炉膛内要保持光亮清洁。,工作之后应及时清除氧化物,炉膛应常关闭。炉子不工作时,必须保持真空度,以使石墨件不受潮湿且能延长扩散泵使用寿命。

8.密封圈和橡皮垫,切忌用油和酒精之类擦拭,也不得压得过紧。

9.先开主机箱风扇电动机使风扇转动,风向向上,说明相序正确。再打开“增热”按钮。若发现相序不对,风扇不转,应立即停止增热排除故障。

10.首先将细调调至中间位置进行主回路送电。打开操纵台上的总电源开关,操纵台上各个开关与相应的部分应正常工作。总励磁有指示才能开直流电动机(籽晶、坩埚、轴)。

11.主机箱中因有鼓风机振动,每隔一段时间应打开箱子检查各螺钉是否有松动现象,如有松动应立即拧紧。

12.操纵台的边线有其相位关系,操纵台与回路之间也有同位关系,一经调好之后,就不要再动。检查修理时若要拆线必须做好标志,以免搞错。

13.用化学方法腐蚀已清洗完毕的多晶硅(回炉多晶)后,要每块仔细地检查有无氧化物,若有蚀渣氧化物须重新腐蚀。

14.装料时必须检查石英坩埚有无裂纹,有无白点和气泡,装料要装稳。

15.籽晶必须装牢,也不得装歪(偏离轴心线不大于3℃)。

16.装炉时必须检查炉内石墨件有无裂纹、氧化层和短路现象,增热器和电极是否接触良好。同时热部件要装得正,炉子漏气时不准熔硅。

17.掺杂时一定要把籽晶提高,置于掺杂勺上方。

18.拉晶中途出了事故被迫停炉时,应把石墨托升到最高位置。

19.不同厂、不同炉次多晶柱制高阻单晶时,每炉多晶柱应分开使用,以利拉制高低阻单晶。

20.真空复合计的指示必须大于0.133帕(0.001毫米汞柱)以上才能开硅管增热器进行测量,真空度要大于0.0133帕(0.0001毫米汞柱)才能进行除气,除气不能超过5分钟。

21.用自来水冷却时先打开7号水龙头(注:水龙头编号系根据设备具体情况确定),再打开4号水龙头,最后开房内的总龙头(在开自来水之前要把调压开关关紧。6号水龙头也要关好),即可使用。

22.用水泵时需看7号水龙头的流量,流量过大将调压开关开大,过小将调压开关关小,否则压力过大会损坏设备。

23.若水槽水温升高而自来水压力不够则按以下程序操作:

(1)将5号水龙头打开,

(2)将7号水龙头打开,炉内热水从地流出。

24.若发现外压升高,应将房内总水龙头关掉,然后关水泵。当炉子处在增热状态时应按第22条使用。

25.装好炉以后用电表测量电极与坩锅轴是否短路,若有短路应立即排除。

——摘自《机械工人安全技术操作规程》

篇3：硅化学腐蚀工安全操作规程

1.腐蚀间范围内,尤其是可能发生火灾的地方,绝对不能存放大量的甲苯、丙酮、乙醇、乙醚等易燃物品。存放地方须远离火源,更不许在物品旁边吸烟。室内应配备消防设备。

2.电热设备如电炉、烘箱等所用电源线,要细心维护,经常检修。电源开关应装有外罩,尽可能装在腐蚀间外面。

3.存放化学药品的地方严禁非本室人员入内。药品须有专人保管。

4.严禁在操作间内吃东西或者用煮过盐水的电炉煮食物。严禁尝试腐蚀间内的食物及酒精。对回收的药品不能乱放,要集中处理,预防食物中毒及气体中毒。

5.操作间光线要充足,要比较宽敞,有良好的通风设备。工作时应开动通风设备。

6.室内应经常有自来水,如有药物沾在身上,应立即冲洗。

7.工作时应穿戴上防护用品如口罩、耐酸耐碱的工作服,防腐蚀胶手套及胶鞋等。

8.用硝酸、硫酸、盐酸、氢氟酸时须带橡胶手套,以免沾在皮肤上,引起腐蚀烂。工作后必须洗手。

9.使用剧毒药品及强腐蚀性化学药品应遵守剧毒品安全管理规程。

——摘自《机械工人安全技术操作规程》

篇4：化验室安全操作规程

[一]化学试验一般操作规则

1.配制稀硫酸时,必须在烧杯和锥形瓶等耐热容器内进行,并必须缓缓将浓硫酸加入水中,配制王水时,应将硝酸缓缓注入盐酸,同时用玻璃棒随时搅拌,不准用相反次序操作。

2.一切试剂瓶都要有标签。有毒药品要在标签上注明。

3.溶解氢氧化钠、氢氧化钾等发热物质时,必须置于耐热容器内进行。

4.严禁试剂入口。如需要以鼻鉴别试剂时,须将试剂瓶远离,用手轻轻扇动,稍闻其气味,严禁鼻子接近瓶口。

5.折断玻璃管(棒)时,须用钢锉在折断处锉,一小槽,再垫布折断。使用时要把断口烧成圆滑的形状。如将玻璃管(棒)插入橡皮管或橡皮塞时,应垫布插入,防止折断伤手。

6.严禁食具和器具混在一起或互相挪用。

7.易发生爆炸的操作,不得对着人进行。例如NO2O2熔融时,坩埚口不得对着人,并应事先避免可能发生的伤害。必要时应戴好防护眼镜或设置防护挡板。

8.一切发生有毒气体的操作,须于通风柜内进行。通风装置失效时禁止操作。

9.一切固体不溶物及浓酸严禁倒入水槽,以防堵塞和腐蚀水道。

10.身上或手上沾有易燃物时,应立即洗干净,不得靠近明火。

11.开启大瓶液体药品时,须用锯将石膏锯开。禁止用其它物品敲开,以免瓶子破裂。

12.处理后的浓酸和浓碱废液,必须先将水门放开,方可倒入水槽。一切废液,如含有害物质超过安全标准,则应先行处理,不准直接排入下水系统。

13.高温物体(灼热的磁盘或烧坏的燃烧管等)要放于不能起火的地方。

14.取下正在沸腾的水或溶液时,须先用烧杯夹子轻轻摇动后才能取下使用,以免使用时突然沸腾而溅出伤人。

15.使用酒精灯、煤气灯时,注意无色火焰烫伤。

16.蒸馏易挥发和易燃体所用的玻璃器具必须完整无缺陷。禁止用火直接加热。

[二]使用电气设备安全规则

1.在使用电气设备时,必须事先检查开关、电机、以及机械设备,确认各部分是否安置妥当。

2.开始工作或停止工作时,必须将开关扣严和拉下。

3.要更换保险丝时,应由电工按负荷选用保险丝,不准随意加大或以铜丝代替使用。

4.电气开关箱内及下面,不准放任何物品。

5.严禁用导电器具去洗扫电器和用湿布擦洗电器。

6.凡电器动力设备超过允许温度时,应立即停止运转。

7.定碳定硫电炉两端应设安全罩。安全罩严禁随意拆掉,以免发生触电事故。

8.禁止洒水在电气设备和线路上,以免漏电。

9.严禁用湿手分、合开关或接触电气设备。

[三]使用毒品安全规则

1.凡能产生有毒气体和刺激性气体的操作,应在通风柜内进行,同时应尽量站在上风口。这些气体是:一氧化碳、硫化氢、氟化氢、氯化氢、二硫化碳、氯、碘、二氧化硫、氧化锰、二氧化氮等。

2.进行有毒物质的试验时,必须穿工作服、戴口罩或面罩、手套,工作人员应在饭前和试验后洗手,试验中禁止饮食、吸烟。禁止用试验容器盛装食品。

3.含毒物的溶液必须由该试验的工作人员作一定的安全处置,合乎排放标准后,再倒入下水道,然后仔细洗净仪器和工作地点。

4.工作人员手、脸、皮肤有破裂时,不许进行有毒物质,尤其是氢化物的操作。

5.处理无名药品不许用口尝。如嗅其味,可用手掌在位于药品表面上方的脸部扇动嗅之。所有装有药品的瓶子均应贴有明显的标签,并分类、分层、分室存放。禁止使用没有标签的药品。

6.有毒液体、生产污水或其它腐蚀性强烈的液体在取样时,不许用口吸取,只能用抽气管吸取,或用滴定管。

7.使用水银注意事项:

(1)装水银的玻璃器皿,应当是坚固的;

(2)装水银的容器表面应盖一层甘油。脏水银则盖一层脏水;

(3)当水银可能与大气直接连通时,不许在表面上覆盖其它物质。应在水银和大气中间接一段内装活性二氧化锰的玻璃管;

(4)装水银的容器应放在金属浅盘中。当水银溅出地面时,应填死或以高锰酸钾溶液灌泡;

(5)脏水银的回收,可用10%的硝酸(浓度不许再高)在通风柜内处理,分离后用水洗3~4次。先用滤纸吸干,然后再于真空中干燥2小时左右,不许采用加热蒸干。

8.使用剧毒物质时,必须按双人双重管理制度处置,即二人领、二人发、二把锁、二本账、二人管;对其它易燃易爆物和有强烈毒性、腐蚀性的物质,操作也必须采取专门的防护措施或设人监护。这些物质是:汞及汞盐,铅盐及铅,砷化物及砷,氰化物,白磷及磷化氢,氟化物,二硫化碳,钾、钠锂、氨的氯酸盐,铬的化合物,所有的有机化合物。

[四]使用强酸、强碱及腐蚀剂安全规则

1.搬运和使用腐蚀性药品,如强酸、强碱及溴等,要戴橡皮手套、围裙、眼镜,并穿深筒胶鞋,在其工作地应备有洁净洗用水、毛巾、药棉和急救中和的溶液,其它人员应熟悉药品的性质和操作方法。工作负责人应负责检查是否适应所做的工作。

2.搬运酸、碱前应仔细作下列几项检查:

(1)装运器具的强度是否可靠;

(2)装酸或碱的容器是否封严;

(3)容器的位置固定得是否稳定;

(4)搬运时,不许一人把容器背在背上。

3.移注酸碱液时,要用虹吸管,不要用漏斗,以防酸碱溶液溅出。

4.酸碱或其它苛性液体,禁止用嘴直接吸取,如无吸气器可用量筒量取。

5.开放盛有溴、过氧化氢、氢氟酸、氨水和其它苛性溶液的容器时,应先用水冷却,然后开瓶。开瓶时,瓶口不准对人。

6.在稀释酸(尤其是硫酸)时,应当一面搅拌冷水,一面慢慢将浓酸少量滴入水内。禁止将水注入酸内。当浓酸倾撒在室内时,应先将碱与其中和,再用水冲洗或先用泥土吸收,扫除后再用水冲洗。

7.拿取碱金属及其氢氧化物和氧化物时,必须用镊子夹取或用磁匙取用,且操作人员须戴橡胶手套、口罩和眼镜。

8.废酸、废碱必须倒在专门的缸子内,缸子应放在安全的地方。

9.如强酸溅到眼睛内或触到皮肤上,应立即用大量清水冲洗,再用0.5%的碳酸氢钠液清洗。如果是强碱溅到眼睛构成皮肤上,则除用大量的清水冲洗外,再用2%的稀硼酸溶液清洗眼睛,或用1%醋酸清洗皮肤。经过上述紧急处理后,应立即迭医院治疗。

10.腐蚀性强烈的物质有:

溴及溴水,硝酸,硫酸,王水,氢氟酸,铬酸溶液,氢氰酸,五氧化二磷,磷酸,氢氧化钾,氢氧化钠,氢氧化铵,冰醋酸,磷,硝酸银,盐酸。

[五]使用易燃品安全规则

1.不许将易燃物质放置在明火附近和试验地区附近。

2.在贮存易燃物质的周围不应有明火作业:点着的煤气(酒精)灯,燃着的火柴等。

3.使用蒸馏或升华的易燃物质时应注意:

(1)不许用明火加热,加热可用水(油)浴器、电热板或电砂浴,周围也不应有明火;

(2)试验仪器应当严密不漏气;

(3)在蒸馏装置下面,应有一金属浅盘,(边高80~100厘米);

(4)工作地点应通风良好,四周不可放置可燃性物料;

(5)工作肘要戴上眼镜。

4.在试验室内存放各种可燃性物质总量不许超过3千克,每种不得超过1千克。随用随取,用后送回专门的贮放地点。

5.遇水易燃物质(如黄磷、过氧化钠、金属钠、钾等)禁止丢入废液桶内。凡能引起火的物质(如废油、废有机溶剂)应集中在专门的容器内放在安全的地方,不得任意乱放。禁止将性质相抵触的,能引起燃爆的易燃物贮存在一起。使用中应留有安全距离。

6.一旦发生失火事故,首先应撤除一切热源,关闭煤气和电闸,然后用砂子或石棉布盖住失火地点或用四氯化碳等灭火机灭火。除酒精外,化学物品失火,不许用水灭火。

7.应经常检查防火设备,如灭火机,黄沙、石棉及毛毡等。

8.当加热、蒸馏及其它有关用火的工作进行时,要有专人负责管理,不许随便离开。用完后即关掉热源。

9.可燃的尤其是易挥发的可燃物,应存放在密闭的容器中,不许用无盖的开口容器贮存。

10.易燃物质有,

醇类,醚类,丙酮,苯,甲苯,酚,汽油,二硫化碳,磷,过氧化钠,金属钾、钠、镁等,碳化钙。

11.做蒸馏提纯或蒸馏试验,必须用明火加热时,每次蒸馏物的数量不得超过100毫升,附近不许存放易燃物质,同时应有防火措施。

[六)使用易爆品安全规则

1.预防由于内外压力差引起爆炸的措施,

(1)仔细检查供真空操作用的全部仪器有无裂纹。不许使用有裂纹的仪器;

(2)使用前应检查容器真空度是否合格。检查时应将容器用布包好;

(3)检查安全标志和防火措施。

2.使用气瓶时注意在定检周期内使用,并要求:

(1)不能使气瓶受碰撞或冲击。不许用人背或在地下滚动的办法运气瓶。立着使用应有固定措施。开气时气嘴不能对人;

(2)气瓶不能放在电炉,暖气附近,不能放在日光照射的地方。禁止在气瓶旁抽烟;

(3)气瓶必须有减压阀门才能使用;

(4)氧气瓶,氧气表以及导管,禁止与油类物质接触。

3.有爆炸危险性的药品(过氧化钠、过氧化氢、浓高氯酸等),在试验室内只许放一小部分,并应保存在干燥阴凉的地方。

4.禁止将性质相抵触的能引起燃烧爆炸的物品贮存在一起或使用中安全距离不够,如:

(1)禁止浓硫酸和结晶状高锰酸钾接触;

(2)禁止和有机物一起研磨氯酸钾;

(3)禁止和有机物一起研磨硝盐。有机物不得和浓硝酸一起混合及加热。

5.乙炔铜、乙炔银的干粉最易爆炸,故在试验完毕时,将它和溶液一同倒在室外,用土深埋。

6.使用乙醚,首先应按下法检查过氧化醚是否存在:取10毫升乙醚放入试管中,加入新制的10%碘化钾溶液1毫升,摇匀后放置1分钟,如乙醚层显黄色,则不能用此乙醚。

——摘自《机械工人安全技术操作规程》

篇5：化学试验器皿安全操作规程

1.不知其性质的试样,绝不可放进加热。

2.除铂头坩埚钳外,其它坩埚钳不可钳铂器皿。

3.铂器皿必须在煤气灯氧化焰上灼烘和加热而不能在还原焰中烧,以免生成脆弱的碳化铂。

4.铂器皿放于高温炉内加热时,必须先清扫炉膛,以免炉膛内之脏物沾污坩埚。铂器皿在电炉内加热蒸发时,必须垫以清洁而固定使用的石棉板,不准垫铁制物品,不准乱拿脏的石棉板垫放。

5.在铂坩埚内熔融试剂,不允许使用过氧化钠,过氧化钡、硫代硫酸钠、碱金属(钾、钠)的硝酸盐、亚硝酸盐,氰化物、氢化物及氧化物,碱土金属(钙、镁、钡)的氢氧化物。

6.为了避免铂由于和其它金属生成合金以及生成脆弱的铂化物而损坏,不可在铂容器内烧灼和加热以下物质:

(1)易被还原的金属及盐类如:铅、锌、铬、锑、锡、银、汞、钕等;

(2)避免与金属铁作用,以免生成铁铂合金,因此当含金属铁样品需熔融时必须用酸先将大部分铁溶解后,再将不溶物放于铂坩埚中熔融;

(3)容易被还原的金属化合物:硫酸铅、氧化铅、二氧化锡、三氧化二铋和三氧化二铁等;

(4)含磷和硫砷的化合物;磷酸铝、硫化锰等;

(5)盐酸与高锰酸钾或重铬酸钾不能混用。

7.使用时必须防止器皿的变形、磨损、减重,因此:

(1)不得用无橡皮头的玻璃棒处理玻璃器皿内的熔融物;

(2)铂在900℃会减重,故在高温炉内放置的时间愈短愈好。

8.在铂坩埚内灰化滤纸时,必须在低温下进行,并应充分氧化以免有还原性之碳化物与铂作用。

9.弄污了的氰铂容器应采用以下方法清洁:

(1)在不含硝酸的盐酸中加热,如盐酸已变深黄色,则必须另换新的;

(2)用上法不能处理清洁时,则以重铬酸钾熔融处理;

(3)上法不行时,用焦硫酸钾。

10.使用完毕的化学试验器皿应进行清理、置换。

——摘自《机械工人安全技术操作规程》