单晶炉的操作规程
利用区熔单晶炉进行以下操作：
1.清炉、装炉;
2.抽空、充气、预热;
3.化料、引晶;
4.生长细颈;
5.扩肩及氮气的充入;
6.转肩、保持及夹持器释放;
7.收尾、停炉清炉、装炉：
(1)清洗整个炉室内壁及加热线圈、反射器、晶体夹持器、上轴、下轴，调整加热线圈和反射器的水平及与上轴、下轴的对中;将多晶料夹具固定到多晶料尾部的刻槽处，然后将其安装到上轴末端，进行多晶料的对中;将籽晶装入籽晶夹头上，然后将其安装到下轴顶端;关闭各个炉门，拧紧各紧固螺栓;
(2)抽空、充气，预热：打开真空泵及抽气管道阀门，对炉室进行抽真空，真空度达到所要求值时，关闭抽气管道阀门及真空泵，向炉膛内快速充入氩气;当充气压力达到相对压力1bar-6bar时，停止快速充气，改用慢速充气，同时打开排气阀门进行流氩;充气完毕后，对多晶硅棒料进行预热，预热使用石墨预热环，使用电流档，预热设定点25-40%，预热时间为10-20分钟;
(3)化料、引晶：预热结束后，进行化料，化料时转入电压档，发生器设定点在40-60%;多晶料熔化后，将籽晶与熔硅进行熔接，熔接后对熔区进行整形，引晶;
(4)生长细颈：引晶结束后，进行细颈的生长，细颈的直径在2-6mm，长度在30-60mm;
(5)扩肩及氮气的充入：细颈生长结束后，进行扩肩，缓慢减少下速至3±2mm/min，同时随着扩肩直径的增大不断减少下转至8±4rpm，另外还要缓慢减小上转至1±0.5rpm;为了防止高压电离，在氩气保护气氛中充入一定比例的氮气，氮气的掺入比例相对于氩气的0.01%-5%;
(6)转肩、保持及夹持器释放：在扩肩直径与单晶保持直径相差3-20mm时，扩肩的速度要放慢一些，进行转肩，直至达到所需直径，单晶保持，等径保持直径在75mm-220mm，单晶生长速度1mm/分-5mm/分，在扩肩过程中，当单晶的肩部单晶夹持器的销子的距离小于2mm时释放夹持器，将单晶夹住;
(7)收尾、停炉：当单晶拉至尾部，开始进行收尾，收尾到单晶的直径达到Φ10-80mm，将熔区拉开，这时使下轴继续向下运动，上轴改向上运动，同时功率保持在40±10%，对晶体进行缓慢降温。
篇2：单晶硅拉制工安全操作规程
1.检查好晶轴、坩祸轴的旋转、升降是否灵活均匀。如果过紧时调节炉膛上的密封圈,紧固到不漏气为准。若拧时不漏气但旋转升降不灵活均匀,则要更换密封圈。
2.真空泵运转的方向应按规定的方向旋转,否则可能引起机械泵油倒灌到扩散泵中去。若真空泵电动机电源线有松掉或断落现象时,应将真空泵和扩散泵连接的塑料管拉掉,调整电动机旋转方向。
3.使用扩散泵必须避免油的氧化。
4.封炉时须检查炉门橡皮是否有油污物,是否能起密封作用,同时检查炉膛内有没有多余物件。
5.增温前要开冷却水,并检查水是否畅流,以防烧坏设备。
6.运动部件如导轨、丝杠等经常要擦洗、润滑。籽晶轴和坩锅要经常用纱布酒精或甲苯擦干净。采用水冷却要防止漏水生锈。
7.炉膛内要保持光亮清洁。,工作之后应及时清除氧化物,炉膛应常关闭。炉子不工作时,必须保持真空度,以使石墨件不受潮湿且能延长扩散泵使用寿命。
8.密封圈和橡皮垫,切忌用油和酒精之类擦拭,也不得压得过紧。
9.先开主机箱风扇电动机使风扇转动,风向向上,说明相序正确。再打开“增热”按钮。若发现相序不对,风扇不转,应立即停止增热排除故障。
10.首先将细调调至中间位置进行主回路送电。打开操纵台上的总电源开关,操纵台上各个开关与相应的部分应正常工作。总励磁有指示才能开直流电动机(籽晶、坩埚、轴)。
11.主机箱中因有鼓风机振动,每隔一段时间应打开箱子检查各螺钉是否有松动现象,如有松动应立即拧紧。
12.操纵台的边线有其相位关系,操纵台与回路之间也有同位关系,一经调好之后,就不要再动。检查修理时若要拆线必须做好标志,以免搞错。
13.用化学方法腐蚀已清洗完毕的多晶硅(回炉多晶)后,要每块仔细地检查有无氧化物,若有蚀渣氧化物须重新腐蚀。
14.装料时必须检查石英坩埚有无裂纹,有无白点和气泡,装料要装稳。
15.籽晶必须装牢,也不得装歪(偏离轴心线不大于3℃)。
16.装炉时必须检查炉内石墨件有无裂纹、氧化层和短路现象,增热器和电极是否接触良好。同时热部件要装得正,炉子漏气时不准熔硅。
17.掺杂时一定要把籽晶提高,置于掺杂勺上方。
18.拉晶中途出了事故被迫停炉时,应把石墨托升到最高位置。
19.不同厂、不同炉次多晶柱制高阻单晶时,每炉多晶柱应分开使用,以利拉制高低阻单晶。
20.真空复合计的指示必须大于0.133帕(0.001毫米汞柱)以上才能开硅管增热器进行测量,真空度要大于0.0133帕(0.0001毫米汞柱)才能进行除气,除气不能超过5分钟。
21.用自来水冷却时先打开7号水龙头(注:水龙头编号系根据设备具体情况确定),再打开4号水龙头,最后开房内的总龙头(在开自来水之前要把调压开关关紧。6号水龙头也要关好),即可使用。
22.用水泵时需看7号水龙头的流量,流量过大将调压开关开大,过小将调压开关关小,否则压力过大会损坏设备。
23.若水槽水温升高而自来水压力不够则按以下程序操作:
(1)将5号水龙头打开,
(2)将7号水龙头打开,炉内热水从地流出。
24.若发现外压升高,应将房内总水龙头关掉,然后关水泵。当炉子处在增热状态时应按第22条使用。
25.装好炉以后用电表测量电极与坩锅轴是否短路,若有短路应立即排除。
——摘自《机械工人安全技术操作规程》
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