检修变电所安全注意事项

篇2：配电间用电安全注意事项

1.值班人员必须持证上岗;按时参加技术培训和安全教育活动;熟悉高低压配电设备状况、操作方法和安全注意事项。

2.未经许可,非工作人员不得进入高低压配电室。

3.值班人员必须密切关注电流、电压、功率因素等参数,严禁变压器、开关超负载运行。

4.对设备和安全设施要勤查,发现隐患及时报告。精心维护和保养好设备,确保正常安全供电。

5.配电设备的倒闸操作必须由值班人员单独操作,其他在场人员只做监护,禁止两人同时倒闸操作,以免发生错误,倒闸完成后填写记录。

6.保持高低压配电室内消防设备的完好齐备,保证应急电源在紧急情况时投入正常使用。

7.严格禁火制度。严禁将易燃易爆危险物品带进配电间;工作人员须能熟练使用消防器

8.做好高低压配电室的防水、防潮工作,预防小动物类进入高低压配电室。

9.保持高低压配电室的设备外表与环境洁净无尘。

10.值班人员认真做好巡视记录与值班记录,认真执行交接班制度。

篇3：半导体厂设备工程师人员安全注意事项

摘要

半导体业对台湾整体市场影响力非常大,集成电路制造过程使用非常多化学

品及有害气体,主要设备单位包括Diff、Thin-film、CMP、Vacuum、DryEtch、

WetEtch、Photo。为了让工安人员、设备人员能够充分的了解在FAB内所处之

工作环境及在工作时需特别注意之安全事项,兹将设备人员所负责之机台及该注

意之安全事项,加以汇整说明,以确实加强改善半导体厂设备工程师人员之安

全,避免人员意外事件发生。

一、工作安全之基本观念

一般工作现场中主要安全基本观念包括以下数点:

(一)安全是工作的一部份,我们有义务要把安全做好。

(二)依据国际安全评分系统(ISRS)所统计之意外事故比率:

每600件虚惊事故,就会伴随30件财物损失之事故,并产生10件轻

微伤害事故,最后可能产生1件严重伤害事故。

(三)任何意外事故发生,均是由日常工作中不安全的行为或不安全的环境所造

成。

(四)落实安全管理是主管的必修课程,不是在事后补救;预防胜于治疗。

(五)只要是涉及安全,你唯一能相信的是你自己,你必须有百分之百的把握,

你所做的任何行为或动作没有任何安全顾虑。所有工作人员,都必须有预

知危险之危机意识。

(六)从事任何工作,你首先要考虑的是你自己本身的安全,再来是周遭的人身

安全,其次才是机台与产品的安全。

(七)担任维修及保养工作时,若你发现你不够清楚,请立即停止进行中的工作。

(八)凡事务必遵守标准程序(SOP、PMProcedure、TroubleShootingGuide)。

从事特定维修工作,请确实按照规定穿着标准防护用具。

二、设备人员维修/保养工作通则

半导体厂中设备人员维修、保养时易造成人员安全疑虑,因此凡于无尘室内

从事PM及维修工作时,均应遵守下列规定事项,以确保安全且整齐之高质量工

作环境。

(一)安全事项:

1、任何操作均以安全为第一考虑。

2、设备维修时,必须挂上维修中警示牌,以防止他人误动作。

3、PM维修中,如需占用走道或掀开高架地板,工作人员必须将施工区域用围

栏区隔,以防止危险发生;掀开高架地板作业完毕,地板盖回后,必须确认

地板间是否平整,以维持无尘室内作业安全。

4、PM维修时,若有接触化学品或有害气体之虞时,必须依照标准Procedure

做好安全防护措施,以保护本身及他人之安全。

5、PM维修中如需要使用附属设备,如工作台车、HouseVacuum时必须摆放适

当之安全位置,以防止人员绊倒产生危险。

6、使用IPA、H2O2、DIW须用小瓶罐装,人员离开时须放回钢瓶座内。

7、执行维修保养工作时,务必特别注意机台零件及工具锐角对人身可能造成之

伤害。

(二)操作整齐注意事项:

1、任何操作均应随时保持高质量之工作环境。

2、PM维修拆下之零件,不可放置机台或地面上,必须放置维修台车上或指定

收纳置物箱内,螺丝须放入螺丝盒内,如Parts体积庞大须暂放地面,应放

置安全,不得妨碍他人之作业安全。

3、PM维修使用之工具须摆放整齐,人员离开时必须放在工作台车上或放回工

具箱内。

4、PM维修使用完之无尘布、棉花棒等,必须立即丢入垃圾筒及垃圾袋内,以

保持工作环境之整洁。

5、搬运物品时必须轻提轻放,不可用拖拉方式移动物品。

6、PM维修时,禁止使用货架台车暂放零件或运送零件,以维护货架台车之清

洁,PM工作台车使用完毕,必须保持干净清洁,放置于规定地方。

7、HouseVacuum使用完毕后,须checkhouseoutlet之铜盖是否盖上及密合,

使用电源插座完毕后,须check电源座是否推回地板面,盖子是否盖上。

8、工作中或暂时休息,皆不可坐于桌面及地板或脚踏板上。

9、工作完成后,请检视周遭环境确保整齐清洁。

三、设备人员单位简介及安全概述

半导体厂设备单位一般包括Diff、Thin-film、CMP、Vacuum、DryEtch、

WetEtch、Photo,各单位之主要性质介绍如下:

(一)Diff扩散设备单位(包括KE、TEL、DNS、Applied等)

主要用到有毒、无毒之ProcessGas、water、高电压、高电流、废气,Clean

机台则使用强酸碱化学液、而有废酸液之生成。

(二)Thin-film薄膜设备单位(包括Applied、Novellus等)

主要用到有毒、无毒之ProcessGas、water、高电压、高电流、高频、废

气。

(三)CMP研磨设备单位(包括Applied、DNS等)

主要用到强碱slurry化学液、water、而有废碱液之生成。

(四)Vacuum真空设备单位(包括Applied、AG、Varian等)

主要用到有毒、无毒之ProcessGas、water、高电压、高电流、高频、废

气;喷砂机台作为维修之用。

(五)Etch干蚀刻设备单位(包括Lam、TEL、Applied、PSC、Mattson机台)

干蚀刻机台之制程主要用到有毒特殊气体(Cl2,Hbr,氟化物…)、无毒之气体

(N2,Ar….)、water(冷却循环水,去离子水….)、高电压、高频、高电流在真

空中反应,且在生产过程会有废气、辐射、废水之生成物。

(六)Etch湿蚀刻设备单位(包括Kaijo机台)

湿蚀刻机台之制程主要用化学药品,如强酸

(HF,BOE,H3PO4,H2SO4,HNO3…),强碱(ACT-690…)及DIW,Cooling

water等,在生产过程中会有废酸液、废水及反应生成物之产生。

(七)Photo黄光设备单位(包括ASMstepper、TELtrack、AGV及其他相关量

测或检视机台)

主要用到紫外线光源HMDS、thinner、光阻等有机溶剂,且有高电流、高

电压、紫外线之应用,生产过程会有废气、废液之生成。

综合一般无尘室内常见之工业安全伤害,可分为化学性、物理性之伤害,

而伤害也分布身体之各部位。以下就将各单位较易发生及机台维修之安全事项说

明如下:

(一)Diff扩散设备单位

1、FurnacetoolsandCVDtools

(1)机械方面:robot之夹伤、撞伤、chamber毒气外泄、plasma辐射伤害、gate

door之夹伤,高温烫伤。

(2)电力方面:高压电流触及。

(3)维修方面:身体之撞伤、擦伤、夹伤、烫伤、wafer之割伤。

(4)保养方面:高温炉管之烫伤、parts之割伤、化学溶剂吸入性及喷溅之伤害。

2、Wetbench安全注意事项

(1)机械方面:robot之夹伤、撞伤、挫伤。

(2)化学药剂方面:强酸/强碱之灼烫伤、化学品之触及、吸入性伤害。

(3)电力方面:漏电触及。

(4)维修方面:撞伤、wafer割伤、强酸/强碱之波及。

3、Inter-baytransfersystem

(1)机械方面:R/M之夹伤、撞伤、挫伤。

(2)维修方面:高架作业之安全。

(二)Thin-film薄膜设备单位

(1)机械方面:避免撞伤、高温烫伤、废液桶压伤、robot夹伤、slitvalve夹伤、

肌肉拉伤。

(2)电力方面:避免高压电流触及身体。

(3)维修保养方面:高温烫伤、粉尘吸入、重物压伤、强酸/强碱之灼伤、身

体之擦伤、撞伤、夹伤、挫伤、parts割伤、powder避免吸入体内。

(4)化学溶剂方面:强酸/强碱之波及和吸入。

(5)特殊气体方面:防止毒气外泄之吸入。

(三)CMP研磨设备单位

(1)机械方面:motorgear转动时夹伤、DNSgatedoor夹伤。

(2)电力方面:高压电流触及。

(3)维修方面:

a.MirraCross转动时须先确定无人。

b.robot移动时,须把door关起来,避免撞人员。

c.Wafer破片之割伤。

(4)保养方面:换Pad时须使用适当工具,避免拔Pad时工具撞到脸部。

(5)化学药剂方面:

a.维修或养DNSTBCchamber时要先flush,并带口罩及防酸手套,防止

HF腐蚀。

b.处理Wslueey时,须带手套。

(四)Vacuum真空设备单位

(1)机械方面:robot之夹伤、撞伤、chamber毒气外泄、plasma辐射伤害、slit

valve之夹伤,肌肉拉伤,高温烫伤。

(2)电力方面:高压电流触及、*ray辐射、强磁场。

(3)维修方面:身体之撞伤、擦伤、夹伤、烫伤、wafer之割伤。

(4)保养方面:高温烫伤、parts之割伤、化学溶剂吸入性及喷溅之伤害。

(5)特殊气体方面:防止毒气外泄之吸入。

(五)Etch干蚀刻设备单位

(1)机械方面:机械手臂之夹伤、撞伤、chamber毒气外泄吸入性之伤害、plasma

辐射污染伤害、gatedoor之夹伤,高温烫伤。

(2)电力方面:高电压、高电流之电击伤害。

(3)维修方面:身体之撞伤、擦伤、夹伤、烫伤、wafer之割伤。

(4)保养方面:parts之割伤、化学溶剂吸入性之伤害。

(六)湿蚀刻设备单位

(1)机械方面:机械手臂之夹伤、撞伤、挫伤。

(2)化学药剂方面:强酸/强碱之灼烫伤、化学品之触及、吸入性伤害。

(3)电力方面:高电压、电流之电击伤害。

(4)维修方面:撞伤、wafer割伤、强酸/强碱之波及。

(七)Photo黄光设备单位

(1)机械方面:robot、mailarm、AGV之撞伤,KrF、化学品外泄、inde*er之

夹伤,高温烫伤。

(2)电力方面:高压电流电击。

(3)维修方面:身体之撞伤、擦伤、夹伤、烫伤、lamp、wafer之割伤、高速旋

转物飞出、液体溅出。

(4)保养方面:紫外线、laser曝露、有机溶剂吸入、皮肤接触。

篇4：夏季施工现场及生活区安全用电注意事项

夏季到来,气温逐渐升高,温度变化大,雨天雷电频发,针对施工现场的实际情况,为防止用电故障发生,请牢记以下安全用电注意事项:

一:对施工现场安全用电要求:

1、对施工用电中存在的线路老化、破皮处包扎、部分线路接头较多等安全隐患要及时整改,消除施工用电隐患。

2、临时电源线搭接混乱,在实际施工中,经常会有一些施工机具需要临时搭接电源短时工作,而工地电工往往忽视这类临时负荷的用电安全,贪图方便省事不按规范操作接线。实际检查中发现较多的就是将闸刀开关胶木盖取下后把电源线直接挂在保险丝上,一方面造成闸刀开关保险丝裸露,容易造成触电事故,另一方面电源搭接点容易氧化,导线发热等。

3、定期对临时用电进行检测,每个电气设备必须做到“一机一闸一漏一箱”的要求,线路标志要分明,线头引出要整洁,各电箱要有门有锁,有个别配电箱开关罩壳破损的要应及时更换。使用中的电气设备应保持良好的工作状态。熔断器的熔体更换时,严禁用不符合原规格熔体或铁丝、铜丝、铁钉等金属体代替使用。

4、不得在用电设备旁堆放杂物,影响设备散热,容易造成安全隐患。

5、遇到打雷天气,及时关闭用电设备,切断电源,以免造成设备损坏或造成安全事故。

6、所有用电设备都要保持良好接地和相对固定的位置安装,不得随意拆卸,不得随意拉接电线和增加用电设备。电气设备和线路都要符合规格,并且应该定期检修。

7、不符合安全规范或存在安全隐患的临时性用电线路和设备不得投入使用。

8、加强日常巡视检查。对漏电保护器是否有效动作、熔体额定值和断路器整定值是否正确、接地线引线和用电设备的PE线是否连接良好等要形成定期和不定期的检查和维护。保护接地的电阻不大于4Ω。

二:生活区安全用电要求:

1、原则上来说,生活区的卧室内,不允许使用大功率的电器设备,坚决不允许同时使用大功率电器,以防线路过载发生火灾;

2、通常情况下,电器设备使用完毕,应及时切断电源,以免疏忽导致电器长时间工作造成温度过高而损坏。

上述各种安全隐患,有的都不同程度的存在着,我们也多次对发现的安全隐患提出了整改要求,但每次检查,总会有或多或少的安全隐患始终没有消除。对我们提出的问题未及时有效地进行整改,或者是虽然经过了整改,但整改措施落实不到位,效果不明显;另一方面是由于现场施工监管不力,未能有效地督促施工单位整改,以致于施工现场所存在的安全隐患一直悬而不决。请各施工单位要把安全生产摆在一切工作的首位,把原来忽视甚至遗忘的施工用电安全严肃地提到议事日程上来。确保施工现场、生活区域的用电安全。严防夏季用电安全事故的发生。

篇5：检修电气系统时的安全措施

检修工作是技术工作,检修工作大体可分为全部停电检修、部分停电检修和不停电检修三种情况。为了保证安全,应建立必要的工作票制度和停电保护制度。

(1)工作票制度

工作票有两种。在高压设备上工作需要全部停电或部分停电者,以及在高压室内的二次回路和照明等回路上的工作,需将高压设备停电或采取安全措施者,应填用第一种工作票。

在带电作业和带电设备外壳上工作,在控制盘和低压配电盘、配电箱、电源干线上工作,以及在无需高压设备停电的二次接线回路上工作等情况下,应填用第二种工作票。

另外可根据不同的检修任务、不同的设备条件,以及不同的管理机构,选用或制订适当格式的工作票。

(2)停电安全措施

1)停电。应注意对所有能够给检修部分送电的线路,要全部切断,并采取防止误合闸的措施。

2)验电。对已停电的线路或设备,不论其经常接入的电压表还是其他信号是否指示无电,均应验电。

3)放电。放电的目的是消除被检设备上残存的静电。

4)装设临时接地线。为了防止意外送电和二次系统意外的反馈电,以及消除其他方面的感应电,应在被检修部分外端装设必要的临时接地线。

5)装设遮拦。在部分停电检修时,应将带电部分遮拦起来,使检修工作人员与带电体之间保持一定的距离。

6)悬挂标志牌。标志牌的作用是提醒人们注意,表示线路或设备运行状态。